ICP-MS是大多數科研機構的必備設備之一。ICP利用強功率的高頻RF信號施加在電感線圈上，在線圈內形成高溫等離子體，并通過氣體的促進確保等離子體的平衡和連續電離。在
icp ms中，ICP充當離子源。高溫等離子體使樣品中大多數元素的電子電離，形成單價正離子。
ICP-MS原理：
ICP-MS是一種無機多元素分析技術，使用電感耦合等離子體作為離子源，并使用質譜進行檢測。等離子體的高溫使樣品去溶劑化、蒸發、離解和電離。部分等離子體通過不同的壓力區進入真空系統。在真空系統中，正離子根據其質荷比被拉出并分離。與icp oes在使用和工作原理上有所不同。
ICP-MS的特點：
ICP-MS具有靈敏度高、檢出限低、線性動態范圍寬、多元素同時分析等特點。同時，icp ms和HPLC色譜法可用于分析食品、醫藥、生物、環境等樣品中砷、鉛、鎘、汞、鉻和硒的價態。
icp oes有以下幾部分組成：
1、接口
接口一般由2-3個錐體組成，即采樣錐體和截取錐體。采樣孔徑一般為0.75-1mm。冷卻的采樣錐靠近等離子體矩形管。其內錐孔與矩形管的中心管對齊。錐形頂部和矩形管口之間的距離約為1cm。采樣錐后面有一個截錐。形狀小于采樣錐，且錐大于采樣錐。與取樣錐一樣，截取錐在尖端頂部有一個小孔。兩個錐體之間的安裝距離為6-7mm，且位于同一軸線上。
2、光學系統
其主要功能是避免中性粒子的干擾，并實現向四級棒傳輸離子和聚焦的目的。
3、四級磁極
四級桿由四個具有雙曲面或圓形橫截面的桿狀電極組成。在兩組電極之間施加頻率在RF范圍內的特定DC電壓和AC電壓。
如果交流電壓的頻率保持恒定并且直流電壓和交流電壓的幅度持續變化（但是它們的比率保持恒定，電壓掃描），或者交流電壓的頻度持續變化而電壓保持恒定（頻率掃描），具有不同質荷比的離子可以到達收集器（檢測器）以獲得質譜。
